超高纯气体系列产物

适⽤用于超高纯、强腐化性和毒性⽓气体7.0此系列产物专为半导体气体⼯产业⽽而研发,实用于高纯和超高纯,强腐化性,易燃易爆,强氧化性和剧毒性气体等种种化学品。 产物和组件全部颠末电解抛光,内外表干净度可达Ra0,15μm,在氦检时的最大走漏率< 1.10-9 mbar.l/sec。 此系列产物专为半导体气体⼯产业而研发,实用于高纯和超高纯,强腐化性,易燃易爆,强氧化性和剧毒性气体等种种化学品。产物和组件全部颠末电解抛光,内外表干净度可达Ra 0,15μm,在氦检时的最大走漏率< 1.10-9 mbar.l/sec。

 
超高纯隔阂阀
超高纯隔阂阀

用于种种气体管道控制场所,无弹簧设计彻底根绝净化危害,实用于超高纯,易燃,腐化性等电子级气体。

▪最大任务压力P:240bar

▪流量系数CV:0.26-3.5

▪开启方法:手动、气动常开、气动常闭

▪承受方式:1/4" ,3/8" ,1/2" ,3/4"  1"

 

超高纯调压阀
超高纯调压阀

用于种种调压场所,无弹簧设计彻底根绝净化危害,低去世角更易于对内腔吹扫和置换,可满意种种压力规范、接口方式和流量的需求。

▪最猛进气压力P1:  240bar

▪出气压力P2:  1-100bar

▪流量系数CV:0.5-1.1

▪接口方式:1/4" ,3/8" ,1/2" ,3/4"

 

UHP钢瓶阀门
UHP钢瓶阀门
膜片弹簧和无弹簧气瓶阀,实用于超纯电子气体,反响性,腐化性,易燃,强氧化性和剧毒气体钢瓶的使用。
•最大任务压力P:200巴
•翻开方法:手动,气动
•接口范例:DISS,CGA,DIN,JISS,BS
波纹管阀门
波纹管阀门
·任务压力240bar
·高压和高压
·手动和睦动操纵
·尺寸:1/4“〜1”,15A〜50A
·衔接方法:LOK端口,UCR对焊,法兰
·UHP级316L不锈钢资料
·电抛光波纹管
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